BS-4020A مجهر فحص الرقاقة الصناعية ثلاثي العينيات
مقدمة
لقد تم تصميم مجهر الفحص الصناعي BS-4020A خصيصًا لعمليات فحص الرقاقات ذات الأحجام المختلفة وثنائي الفينيل متعدد الكلور الكبير. يمكن لهذا المجهر أن يوفر تجربة مراقبة موثوقة ومريحة ودقيقة. بفضل الهيكل الذي تم تنفيذه بشكل مثالي، والنظام البصري عالي الوضوح ونظام التشغيل المريح، يحقق BS-4020 التحليل الاحترافي ويلبي الاحتياجات المختلفة للبحث والفحص للرقائق، وFPD، وحزمة الدوائر، وثنائي الفينيل متعدد الكلور، وعلوم المواد، والصب الدقيق، والسيراميك المعدني، والعفن الدقيق، أشباه الموصلات والإلكترونيات الخ.
1. نظام إضاءة مجهرية مثالي.
يأتي المجهر مزودًا بإضاءة Kohler، ويوفر إضاءة ساطعة وموحدة في جميع أنحاء مجال العرض. بالتنسيق مع النظام البصري اللانهائي NIS45، والهدف العالي NA وLWD، يمكن توفير تصوير مجهري مثالي.
سمات
مجال مشرق من الإضاءة المنعكسة
يعتمد BS-4020A نظامًا بصريًا لا متناهيًا ممتازًا. مجال المشاهدة موحد ومشرق وبدرجة عالية من إعادة إنتاج الألوان. إنها مناسبة لمراقبة عينات أشباه الموصلات غير الشفافة.
حقل مظلم
يمكنه تحقيق صور عالية الوضوح في مراقبة المجال المظلم وإجراء فحص عالي الحساسية للعيوب مثل الخدوش الدقيقة. إنها مناسبة للفحص السطحي للعينات ذات المتطلبات العالية.
مجال مشرق للإضاءة المنقولة
بالنسبة للعينات الشفافة، مثل FPD والعناصر البصرية، يمكن تحقيق مراقبة المجال الساطع بواسطة مكثف الضوء المنقول. يمكن استخدامه أيضًا مع DIC والاستقطاب البسيط والملحقات الأخرى.
الاستقطاب البسيط
طريقة المراقبة هذه مناسبة لعينات الانكسار المزدوج مثل الأنسجة المعدنية والمعادن وشاشات الكريستال السائل ومواد أشباه الموصلات.
الإضاءة المنعكسة مدينة دبي للإنترنت
تُستخدم هذه الطريقة لملاحظة الاختلافات الصغيرة في القوالب الدقيقة. يمكن لتقنية المراقبة إظهار فرق الارتفاع الضئيل الذي لا يمكن رؤيته بطريقة المراقبة العادية على شكل نقش وصور ثلاثية الأبعاد.
2. الأهداف الميدانية شبه APO و APO ذات الجودة العالية والمجال المظلم.
من خلال اعتماد تقنية الطلاء متعدد الطبقات، يمكن للعدسات الموضوعية شبه APO وAPO من سلسلة NIS45 تعويض الانحراف الكروي والانحراف اللوني من الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء القريبة. ويمكن ضمان الحدة والدقة وتجسيد اللون للصور. يمكن الحصول على الصورة ذات الدقة العالية والمسطحة لمختلف التكبيرات.
3. لوحة التشغيل موجودة في مقدمة المجهر، مريحة في التشغيل.
توجد لوحة التحكم الآلية في الجزء الأمامي من المجهر (بالقرب من المشغل)، مما يجعل العملية أكثر سرعة وسهولة عند مراقبة العينة. ويمكن أن يقلل من التعب الناتج عن المراقبة لفترة طويلة والغبار العائم الناتج عن نطاق كبير من الحركة.
4. إرجو إمالة رأس عرض ثلاثي العينيات.
يمكن لرأس العرض المائل Ergo أن يجعل المراقبة أكثر راحة، وذلك لتقليل توتر العضلات وعدم الراحة الناجم عن ساعات العمل الطويلة.
5. آلية التركيز ومقبض الضبط الدقيق للمرحلة مع وضع اليد المنخفض.
تعتمد آلية التركيز ومقبض الضبط الدقيق للمسرح على تصميم وضع اليد المنخفض، والذي يتوافق مع التصميم المريح. لا يحتاج المستخدمون إلى رفع الأيدي عند التشغيل، مما يعطي أكبر درجة من الشعور بالراحة.
6. تحتوي المرحلة على مقبض قابض مدمج.
يمكن لمقبض القابض أن يدرك وضع الحركة السريعة والبطيئة للمسرح ويمكنه تحديد موقع العينات ذات المساحة الكبيرة بسرعة. لن يكون من الصعب بعد الآن تحديد موقع العينات بسرعة ودقة عند الاستخدام المشترك مع مقبض الضبط الدقيق للمسرح.
7. يمكن استخدام المرحلة كبيرة الحجم (14 × 12 بوصة) للرقائق الكبيرة وثنائي الفينيل متعدد الكلور.
تميل مناطق الإلكترونيات الدقيقة وعينات أشباه الموصلات، وخاصة الرقاقة، إلى أن تكون كبيرة، لذا فإن مرحلة المجهر الميتالوغرافي العادي لا يمكنها تلبية احتياجات المراقبة الخاصة بها. BS-4020A لديه مسرح كبير الحجم مع نطاق حركة كبير، وهو مريح وسهل الحركة. لذلك فهي أداة مثالية للمراقبة المجهرية للعينات الصناعية ذات المساحة الكبيرة.
حامل الويفر مقاس 8.12 بوصة يأتي مع المجهر.
يمكن ملاحظة الرقاقة مقاس 12 بوصة والرقاقة الأصغر حجمًا باستخدام هذا المجهر، مع مقبض مرحلة الحركة السريعة والدقيقة، يمكنه تحسين كفاءة العمل بشكل كبير.
9. الغطاء الواقي المضاد للكهرباء الساكنة يمكن أن يقلل من الغبار.
يجب أن تكون العينات الصناعية بعيدة عن الغبار العائم، وقليل من الغبار يمكن أن يؤثر على جودة المنتج ونتائج الاختبار. يحتوي BS-4020A على مساحة كبيرة من الغطاء الواقي المضاد للكهرباء الساكنة، والذي يمكن أن يمنع الغبار العائم والغبار المتساقط وذلك لحماية العينات وجعل نتيجة الاختبار أكثر دقة.
10. مسافة عمل أطول وهدف NA عالي.
المكونات الإلكترونية وأشباه الموصلات الموجودة في عينات لوحات الدوائر لها اختلاف في الارتفاع. لذلك، تم اعتماد أهداف مسافة العمل الطويلة على هذا المجهر. وفي الوقت نفسه، من أجل تلبية المتطلبات العالية للعينات الصناعية فيما يتعلق بإعادة إنتاج الألوان، تم تطوير وتحسين تقنية الطلاء متعدد الطبقات على مر السنين وتم اعتماد هدف BF&DF شبه APO وAPO مع نسبة NA عالية، والتي يمكنها استعادة اللون الحقيقي للعينات .
11. طرق المراقبة المختلفة يمكن أن تلبي متطلبات الاختبار المتنوعة.
| إضاءة | حقل مشرق | الميدان المظلم | مدينة دبي للإنترنت | ضوء الفلورسنت | الضوء المستقطب |
| الإضاءة المنعكسة | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| الإضاءة المنقولة | ○ | - | - | - | ○ |
طلب
يعد مجهر الفحص الصناعي BS-4020A أداة مثالية لفحص الرقائق ذات الأحجام المختلفة وثنائي الفينيل متعدد الكلور الكبير. يمكن استخدام هذا المجهر في الجامعات ومصانع الإلكترونيات والرقائق للبحث والفحص للرقائق، وFPD، وحزمة الدوائر، وثنائي الفينيل متعدد الكلور، وعلوم المواد، والصب الدقيق، والسيراميك المعدني، والعفن الدقيق، وأشباه الموصلات والإلكترونيات وما إلى ذلك.
مواصفة
| غرض | مواصفة | بس-4020أ | بس-4020ب | |
| النظام البصري | NIS45 نظام بصري مصحح للألوان اللانهائية (طول الأنبوب: 200 مم) | ● | ● | |
| عرض الرأس | رأس ثلاثي العينيات مائل من Ergo، قابل للتعديل 0-35 درجة مائلة، المسافة بين الحدقتين 47 مم - 78 مم؛ نسبة الانقسام العدسة: ثلاثي العينيات = 100:0 أو 20:80 أو 0:100 | ● | ● | |
| رأس Seidentopf ثلاثي العينيات، مائل 30 درجة، المسافة بين الحدقتين: 47 مم - 78 مم؛ نسبة الانقسام العدسة: ثلاثي العينيات = 100:0 أو 20:80 أو 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf رأس مجهر، 30 درجة مائلة، المسافة بين الحدقتين: 47 مم - 78 مم | ○ | ○ | ||
| العدسة | عدسة عينية واسعة للغاية SW10X/25 مم، ديوبتر قابلة للتعديل | ● | ● | |
| عدسة عينية واسعة للغاية SW10X/22 مم، ديوبتر قابلة للتعديل | ○ | ○ | ||
| عدسة عينية واسعة جدًا مقاس EW12.5X/17.5 مم، قابلة للتعديل بالديوبتر | ○ | ○ | ||
| عدسة عينية واسعة النطاق WF15X/16 مم، ديوبتر قابلة للتعديل | ○ | ○ | ||
| عدسة عينية واسعة النطاق WF20X/12 مم، قابلة للتعديل بالديوبتر | ○ | ○ | ||
| موضوعي | 45 شيكلًا لا نهائيًا لخطة LWD شبه APO الهدف (BF & DF)، M26 | 5X/NA=0.15، WD=20 مم | ● | ● |
| 10X/NA=0.3، WD=11 ملم | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45، WD=3.0 مم | ● | ● | ||
| هدف APO لخطة LWD اللانهائية بقيمة 45 شيكل (BF & DF)، M26 | 50X/NA=0.8، WD=1.0 مم | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9، WD=1.0 مم | ● | ● | ||
| 60 شيكلًا جديدًا لخطة LWD اللانهائية هدف شبه APO (BF)، M25 | 5X/NA=0.15، WD=20 مم | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3، WD=11 ملم | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45، WD=3.0 مم | ○ | ○ | ||
| خطة LWD اللانهائية بقيمة 60 شيكل هدف APO (BF)، M25 | 50X/NA=0.8، WD=1.0 مم | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9، WD=1.0 مم | ○ | ○ | ||
| قطعة الأنف | فتحة الأنف السداسية الخلفية (مع فتحة DIC) | ● | ● | |
| مكثف | مكثف LWD NA0.65 | ○ | ● | |
| الإضاءة المنقولة | مصدر طاقة LED 40 وات مع دليل ضوء من الألياف الضوئية، كثافة قابلة للتعديل | ○ | ● | |
| الإضاءة المنعكسة | مصباح هالوجين 24 فولت/100 وات منعكس، إضاءة كوهلر، مع برج ذو 6 أوضاع | ● | ● | |
| منزل مصباح الهالوجين 100 واط | ● | ● | ||
| ضوء منعكس مع مصباح LED بقدرة 5 وات، وإضاءة كوهلر، وبرج ذو 6 أوضاع | ○ | ○ | ||
| وحدة المجال الساطع BF1 | ● | ● | ||
| وحدة المجال الساطع BF2 | ● | ● | ||
| وحدة المجال المظلم DF | ● | ● | ||
| مرشح ND6 وND25 مدمج وفلتر تصحيح الألوان | ○ | ○ | ||
| وظيفة ايكو | وظيفة ECO مع زر ECO | ● | ● | |
| التركيز | تركيز منخفض محوري خشن ودقيق، تقسيم دقيق 1 ميكرومتر، نطاق متحرك 35 مم | ● | ● | |
| منصة | مرحلة ميكانيكية من 3 طبقات بمقبض قابض، مقاس 14 بوصة × 12 بوصة (356 مم × 305 مم)؛ نطاق الحركة 356 مم × 305 مم؛ منطقة الإضاءة للضوء المنقول: 356 × 284 ملم. | ● | ● | |
| حامل الويفر: يمكن استخدامه لحمل الويفر مقاس 12 بوصة | ● | ● | ||
| مجموعة مدينة دبي للإنترنت | مجموعة DIC للإضاءة المنعكسة (يمكن استخدامها لأهداف 10X، 20X، 50X، 100X) | ○ | ○ | |
| طقم الاستقطاب | المستقطب للإضاءة المنعكسة | ○ | ○ | |
| محلل للإضاءة المنعكسة، قابل للدوران 0-360 درجة | ○ | ○ | ||
| المستقطب للإضاءة المنقولة | ○ | ○ | ||
| محلل للإضاءة المنقولة | ○ | ○ | ||
| ملحقات أخرى | محول تركيب C 0.5X | ○ | ○ | |
| 1X محول تركيب C | ○ | ○ | ||
| غطاء الغبار | ● | ● | ||
| سلك الطاقة | ● | ● | ||
| شريحة المعايرة 0.01 مم | ○ | ○ | ||
| ضاغط العينات | ○ | ○ | ||
ملاحظة: ● الزي القياسي، ○ اختياري
صورة عينة
البعد
الوحدة: مم
مخطط النظام
شهادة
اللوجستية
